Ellissometria
Lâellissometria spettroscopica è una tecnica utilizzata per la caratterizzazione ottica di film sottili e materiali bulk quali dielettrici, semiconduttori, polimeri e metalli.
Lâellissometria si basa sulla misura della variazione dello stato polarizzazione di un fascio luminoso che interagisce con un campione. Le informazioni che si possono ottenere riguardano lâindice di rifrazione, il coefficiente di estinzione, la funzione dielettrica, lo spessore del campione e la struttura superficiale del materiale. Le misure ellissometriche possono essere effettuate in funzione della lunghezza dâonda o in funzione dellâangolo dâincidenza, in questo caso si parla di ellissometria spettroscopica ad angolo variabile, detta VASE (Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry).
I risultati che si ottengono hanno unâelevata precisione grazie al fatto che la misura ellissometrica riguarda la variazione dello stato di polarizzazione che è indipendente dalla intensitĂ del fascio e dalle sue eventuali fluttuazioni e grazie alla possibilitĂ di variare lâangolo di incidenza e la lunghezza dâonda della luce incidente sul campione in modo automatizzato.
Lâellissometria è una tecnica che non necessita di un riferimento, non è distruttiva e non richiede particolari preparazioni dei campioni, permettendo cosĂŹ anche lâapplicabilitĂ in situ. Necessita di accurata analisi ed elaborazione dei dati sperimentali, da condurre con software dedicati.
La spettroscopia ellissometrica permette di caratterizzare materiali come film organici e inorganici, superfici nanostrutturate, film ibridi complessi, campioni plasmonici e magneto-ottici, materiali per il fototovoltaico.